德國SPS POLOS勻膠機

一、德國SPS POLOS勻膠機SPIN150i產品特點和技術參數：

1、結構：

（1）旋涂腔體直徑為202毫米，適用于小尺寸碎片至160 mm 直徑圓片或 4" x 4" 方片；

（2）NPP-H（具有α晶的天然聚丙烯）的耐腐蝕結構為整個系統提供更好的剛性和韌性；

（3）旋涂腔室材質為NPP（天然聚丙烯）,特殊應用可選用高耐化學性的PTFE（TFM™）；

（4）高品質無縫制造表面，全工程塑料；

（5）機身尺寸為：274 (w) x 250 (h) x 451 (d) mm，適用于通風廚和手套箱使用；

2、數字電機控制：

（1）具有數字增量速度信號的數字實時閉環控制伺服電機反饋；

（2）允許具有廣泛旋轉速度參數的用戶以更安靜的方式進行工作/實驗，系統高速運行時更穩定，振動更少；

（3）提供高性能無刷電機，有著高精度的轉速（±0.1 rpm）和寬范圍的轉速（1至12,000 rpm），這是傳統PID電機控制器無法實現的；

3、程序配方數目存儲不設限，可用于多個步驟的配方，每個配方均適用于：

（1）旋涂時間：0.1至99999秒/步；

（2）旋涂轉速：0至12,000 rpm；

（3）旋轉方向：順時針，逆時針，順、逆時針交換攪動；

（4）旋涂加速度：1至30,000 rpm / sec（每步可選）；

（5）真空：開/關；

（6）3個可編程的干觸點：例如用于分配單元，氮氣擴散器等的自動控制；

4、設備控制器：

（1）可拆卸的全尺寸觸摸屏，手套防護，IP 52，耐化學腐蝕；

（2）彩色觸摸屏顯示，可輕松編程速度，加速度和時間；

5、安全聯鎖：

（1）Process Chambe Lid始終為所有用戶安全鎖定，并且僅在單擊蓋子打開顯示圖標時才能打開；

（2）電磁蓋聯鎖在打開時停止旋轉，而真空聯鎖（可編程）在沒有足夠真空或沒有真空的情況下停止旋轉，防止傷害使用者并避免基材破裂；

（3）具有國際CE標志和過載保護的電氣安全；

6、透明蓋：

（1）透明蓋清晰可見內部，帶有注射器支架和N2擴散器，可手動分配注膠以及在處理過程中進行N2吹掃；

（2）注射器支架可幫助用戶始終在期望的相同位置和位置分配抗蝕劑/化學物質；

（3）控制室環境對于恒定的過程結果至關重要；

（4）堅固的自彈式蓋鉸鏈，可自動將蓋保持在最佳狀態，以便輕松搬運和卸下基板，同時確保蓋子上的殘留化學物質都流入系統排水口；

7、連接：

（1）三個可編程繼電器輸出，可用于操作自動分配系統，外部閥或其他附件。

（2）多種chuck可供選擇，適用用于不同尺寸的基板。

8、USB端口：可輕松上傳和下載配方以及更新軟件版本；

9、存儲：結構化和受密碼保護的方案存儲，可輕松安全地進行管理；

10、配套真空泵系統：無 油 型 220~240伏交流，50/60赫茲；

SPIN150i勻膠機的安裝和使用

二、德國SPS POLOS勻膠機SPIN150i應用領域：

1、適應于鈣鈦礦太陽能電池薄膜制備；

2、半導體芯片制造；

3、MEMS制版的表面涂覆；