等離子清洗機不起輝光了，如何排查故障？

引言：

等離子表面處理是指非聚合性無機氣體（如Ar、N₂、O₂、H₂等）的等離子體對高分子材料表面的物理或化學的作用過程。低溫等離子體能夠有效的改善材料的表面性能，包括潤濕性、粘合性、染色性、印刷性、防靜電性等等各項性能。低溫等離子體對材料的作用只發生在其表面幾十至數千埃厚度范圍內，能使材料表面性能顯著改善而材料本體性能不受影響，同時又具有高效、低成本、環保的優點被廣泛應用于各個科研領域。

然而，在日常的科研實驗室中，有些科研工作者也偶爾會遇到等離子清洗機無法產生輝光的情況。那么，是什么原因導致等離子清洗機無法產生等離子體輝光呢？本篇，筆者將從實驗室常見的、十分基礎的等離子清洗機——Harrick Plasma等離子清洗機來舉例。

Harrick Plasma常見的型號有PDC-32G-2等離子清洗機、PDC-002等離子清洗機。它們因其操作簡單、性能穩定、質量可靠的特點，被廣大的實驗室所認可和購置。那么，又是什么原因導致其會無法產生等離子輝光呢？通常有兩種可能：

①電路板故障，損壞；

②真空度不夠，沒有達到產生等離子體輝光的激發條件；

了解到以上兩點，我們就可以針對性的來排除故障了。

我們可以通過使用熒光燈管來測試電路板是否出現故障，測試順序如下：

（1）打開主電源，等待10-15秒；

（2）直接將熒光燈管放在大氣壓下的腔室中（不需要用真空泵抽空腔室）；

（3）然后將射頻功率打開到高、中、低。在每個射頻功率水平上，最多等待10秒，看熒光燈泡是否亮起；

*有時，可能需要將燈管稍微移動到腔室中的另一個位置，以使其發光。

如果燈管可以點亮，這通常表明電路工作正常，問題與真空有關，只需檢查各個真空密封處是否松動、漏氣即可。

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